KASHIYAMA工業(yè)的產(chǎn)品在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了*高的評價(jià)與信賴(lài)。尤其是來(lái)自于半導體制造行業(yè)的信賴(lài),這是KASHIYAMA工業(yè)多年長(cháng)期以來(lái)不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取真空技術(shù)的結果。

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并在*高難度的制程發(fā)揮上獲得了客戶(hù)的信賴(lài)與評價(jià)。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設備在廣泛的領(lǐng)域當中發(fā)揮它的威力。

產(chǎn)品詳細信息:

プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製品の特徴 ポンプの構造原理:當社製水封式真空ポンプは円形ケーシングと羽根車(chē)より本體を構成し羽根車(chē)はケーシングと偏心した位置に取り付けられています。ケーシング內に適當量の水を入れて羽根車(chē)を回転させると、水は遠心力によってケーシングと同心の円形狀の水膜を作りながら運動(dòng)します。

これにより水膜と隣接する羽根と羽根とによって密閉された空間が生じ、羽根車(chē)が回転するにしたがって空間は容積変化して、吸入、圧縮、排気を連続的に行ない非常に高能率なポンプとなっています。

公害問(wèn)題の面から吸引気體中に含まれる種々の有害ガスが水に溶解または混合して排出されるのを防ぐため封水を直接流出させないで循環(huán)させて使用する方式もあります。

LEH/LEMシリーズの特徴:

水蒸気や水滴を含んだ気體の排気に適である。

引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。

摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる。

低騒音でかつ振動(dòng)が少ない。

連続排気で脈動(dòng)がない。

軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易。

全機種エルモ形で従來(lái)のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい。

定流量弁を內蔵して適量給水方式を採用している。

LEH型は2段ポンプで高真空用に、LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量です。

        真空泵LEH100MS

真空泵LEH100MS

真空泵LEH100MS

真空泵LEH100MS

真空泵NeoDry 36E

真空泵NeoDry 36E

真空泵NeoDry 36E

真空泵NeoDry 36E